Uluai Fou masani masani 206 202 Valve Pulea mo F00VC45204 Valve Fonotaga

O se Metotia Togafitiga Laufanua mo le nila Suau'u o se Iniseti Suau'u Fou

Mulimuli i laasaga o loʻo i lalo:

1) Ultrasonic fa'amamaina o nila suau'u fa'atasi ai ma le fa'amama u'amea mo le 30 minute, ona fa'amamago ai lea;

2) Fa'amama muamua le sputter
O nila fa'amama ma fa'agogo o lo'o tu'u i totonu o le potu vacuum o le tapuni-fanua e le paleni masini fa'a'ele'ele fa'apipi'i mea fa'apipi'i ion, ma fa'amama le fa'amama ion e faia mo le 30 i le 60 minute;

3) Ufiufi
I totonu o le potu gaogao o le tapuni-fanua le paleni magnetron sputtering ion plateing meafaigaluega, ua sputtered nila suauu i atoms uʻamea mo le 10 i le 20 minute e fausia ai se vaega suiga o atoms uamea mama, ma o le carbon atoms ua sputtered i atoms uamea mo 50. i le 80 minute. Atom sputtering e fai ai se vaega fa'alili fa'asolo, fa'a'a'amea fa'ameamea ma fa'atama'i fa'atama kaponi mo le 90 i le 120 minute e fa'atupu ai se ata kaponi amorphous nano-multilayer doped i fa'amea uamea;

O atoma uʻamea o loʻo taʻua muamua o le chromium Cr, poʻo le titanium Ti, poʻo le zirconium Zr, poʻo le siliva.

4.The luga o auala togafitiga o se nila suauʻu injector tala e tusa ai ma le tagi 3, o loʻo faʻaalia i lena: i le laasaga 2 fai mai), e tatau ona faʻafeiloaʻi argon i totonu o le potu gaogao ma se mama o 99.99% ma se fua faatatau tafe o 25 ~ 35 sccm .

5. O le auala togafitiga i luga o se nila suauʻu injector tala e tusa ai ma le tagi 4, o loʻo faʻaalia i lena mea: i totonu o le laasaga 3), e tatau ona faʻafeiloaʻi le kasa argon i totonu o le potu vaʻavaʻa ma le mama o le 99.99% ma le tafe o le 15 ~ 30. sccm.